矽沉著病的主要原因是長期接觸礦物質粉塵導致吸入性肺病。患者吸入矽粉塵所致的永久性肺組織瘢痕形成。 矽沉著病的發病機制目前認為是二氧化矽顆粒被肺泡巨噬細胞吞噬,留在吞噬小體內產生毒性作用,導致吞噬細胞溶酶體解體和細胞破壞,釋放出二氧化矽粉塵顆粒,再被其他吞噬細胞吞噬,如此反覆進行導致矽沉著病的發生。 在山區修建道路和挖掘隧道的風鑽工、爆破工和運輸工接觸粉塵最多,是患有該疾病的高發人群。另外,建築材料行業的採石工、石料粉碎工等,都會引起矽沉著病的發生。